由于实行室气路管道特气体系是一种具有高危害的供给体系，因而在消费线现场的维护必要专业、有履历的技能员完成。特气体系的维护次要包括特气柜维护和管路维护。
特气柜又分为全主动特气柜与半主动特气柜，每种气柜的维护办法有肯定的区别。全主动气柜维护主动化水平较高，而且宁静牢靠。在维护前封闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，步伐主动举行抽气，置换等举措，依据气体性子的差别，一样平常至多吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫洁净。
管路的维护，由于差别的气体性子纷歧样，对管路维护的办法也不相反，对腐化性气体的管道必要屡次用ag九游氮气吹扫(N2purge)，一样平常至多重复30次，关于有吸附性的液态源气体，由于管路容易梗塞，必要屡次的重复的抽真空，抽完后封闭阀门，1小时后会呈现压力表回表的征象，会形成管道走漏的误导，遇到此状况翻开真空器产生器持续抽，直到没有吸附气体开释为止。
以上两种体系维护后都必需做正压与负压的保压测试，一样平常正压保压压力为利用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，保压工夫至多120分钟以上，由于压力传感器(PT)受温度的影响，一样平常有2PSI的正负动摇。
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