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实行室气路管道ag九游气体管道配管
点击次数:1550 公布工夫:2021-12-21 打印本页面 前往

  ag九游气体管道配管

  一切ag九游度、朴直净的气体均需经过管路保送到设置装备摆设用点(POU),为了到达工艺对气体的质量要求,在气体出口目标肯定的状况下,则更需器重配管体系的质料选用和施工质量。除取决于制气或污染设置装备摆设的精度外,在很大水平上遭到管路体系诸多要素的影响,因而,管材的选取应服从相干行业准绳,并在图纸中注明管道材质。


  管路的材质则依利用的需求举行选择,若为制程用的反响气体则选择初等级的316LEP管,经电解拋光(Electro-Polish)处置,耐腐化,外表粗度低,Rmax(maximum peak tovalleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于颠末光芒烧结(Bright Anneal)处置之316LBA管的0.8μm,因平整度越高越不容易构成微涡流,而将净化粒子带出。316LBA管则常利用于和芯片打仗但不到场制程反响的气体,如GN2、CDA。更多气体知识请存眷气体圈子微信:gasgroup管内外表粗度是权衡管材质量的尺度。粗度越低,其颗粒携带大概性大大低落。另一种未经特别处置的AP管(Annealing& Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。


  现在在国际干净管道可参照尺度比力少,通常ag九游除了参照《干净厂房设计标准》《氢气站设计标准》《氢氧站设计标准》《紧缩氛围设计标准》等有关技能行业技能标准外,在业内ag九游习用的选材与配管一样平常参照国际通用的行业尺度种种气体配管配件要求在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。


  ag九游氮气(PN2):体系管道接纳内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门接纳相反材质的波纹管阀或隔阂阀。


  氮气(N2):体系管道接纳内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光明退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门接纳相反材质的波纹管阀或球阀。


  ag九游氢气(PH2)氢气(H2):体系管道接纳内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门接纳相反材质的波纹管阀或隔阂阀。氩气(Ar):体系管道接纳内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门接纳相反材质的波纹管阀或隔阂阀。


  氦气(He):体系管道接纳内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门接纳相反材质的波纹管阀或隔阂阀。


  特气体系:须要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处置,内管电解抛光(EP),阀门接纳相反材质的波纹管阀或隔阂阀。


  紧缩氛围(CDA):体系管道接纳光明退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门接纳相反材质的球阀(要求不高的公司亦可接纳铜管,视工艺要求定)


  关于特别气体来讲,气体种类多,有毒无害气体多,原来是一机台配一气柜,奋发的配备组合和维修用度大大增长了投资本钱,且有的还部署在工艺间内,存在着走漏的宁静隐患。如今普遍接纳会合供气体系,气柜会合,自控体系不停美满,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺距离离,并对房间有防爆要求,事情的宁静性大大进步。


  针对腐化性、毒性、熄灭性的气体,通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内,再透过管路将气体供给至现场左近的阀箱(VMB, ValveManifold Box),尔后再进入制程机台的利用点(POU, Point ofUse),更多气体知识请存眷气体圈子微信:gasgroup于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘(GB, GasBox)与制程控制模块联机,以质流控制器(MFC, Mass Flow Controller)举行流量之控制与进气的混淆比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务体系的设计范围,而是归属制程机台设置装备摆设的一部份。一样平常的惰性气体则因此开放式的气瓶架(GasRack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)举行供给。

  差别气体配管要求

  腐化功能较强的气体时,须选用耐腐化的不锈钢管材作配管,不然,管材将会由于腐化而在内外表发生腐化斑,严峻时会呈现大片金属剥离乃至穿孔,从而净化输配的纯洁气体。

  大流量的ag九游、朴直净度气体输配管道的毗连,准绳上所有接纳焊接,要求接纳的管材,在施焊时构造不产生变革。含碳过高的质料在焊接时,受焊接部位的透气,使得管表里气体的互相浸透,毁坏保送气体的纯度、枯燥度和干净度,招致ag九游的各项高兴所有得到意义。

  综上所述,关于ag九游气体及特种气体保送管道,需接纳一种特种处置的ag九游不锈钢管,至使ag九游管道体系(包括管道、管件、阀门、VMB、VMP)在ag九游气体配送中占据至关紧张的作用


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